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    电子束蒸发类

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    一、产品概述

    1、适用:大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。

    2、产品特点/用途

    ►必威体育中文一体化设计,占地面积小,性价比高,性能稳定,使用维护成本低;

    ►适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜,也可用于生产线前期工艺试验等;

    ►适用于制备光学薄膜、导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜等。

     

    二、技术参数

    型号
    TEMD600
    真空腔室结构
    立式圆柱形侧开门结构,后置抽气系统
    真空腔室尺寸
    Φ600×H750mm
    加热温度
    室温~300℃
    旋转基片台
    平板型Φ350mm,或球罩型基片台可选
    膜厚不均匀性
    ≤±5.0%
    考夫曼离子源
    可选
    蒸发源
    电子枪8KW 6穴坩埚 国产进口可选,配2-3组电阻蒸发
    控制方式
    PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统
    占地面积
    长×宽:L2500×W1600mm
    总功率
    ≥17KW