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    有机、金属复合必威官网登陆手机登录必威体育中文

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    一、产品概述

    1、适用:大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。

    2、产品特点/用途:

    ► 必威体育中文一体化设计,占地面积小,价格优惠,性能稳定,使用维护成本低;

    ► 必威体育中文配备4~6组蒸发源,兼容有机蒸发与无机蒸发,多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜,功能强大,性能稳定;

    ► 适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜,也可用于生产线前期工艺试验等;

    ► 适用于蒸发必威官网登陆手机登录与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接,广泛用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池及OLED薄膜等研究系统等。

     

    二、技术参数

    型号
    ZHDS400
    必威官网登陆手机登录方式
    多源蒸发必威官网登陆手机登录
    真空腔室结构
    方箱式前后开门;配置手套箱
    真空腔室尺寸
     L400×W440×H450mm
    加热温度
    室温~300℃
    旋转基片台
    120mm×120mm
    基片台升降
    手动调节升降高度0~80mm
    膜厚不均匀性
    ≤±5.0%
    蒸发源
    2组金属源,2~4组有机源
    控制方式
    PLC/PC自动控制系统可选
    占地面积
    主机L1100×W550×H1800mm,手套箱尺寸定制
    总功率
    ≥10KW