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    管式气相沉积必威体育中文

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    一、产品概述

    1、适用范围:适合于各单位实验室、高等院校实验室、教学等的项目科研、产品中试之用。

    2、产品优点及特点:该必威体育中文是利用有机金属源化学气相沉积技术,石英管生长室清洁无污染;多路气体控制合理;PID加热温度高控温准确且均匀,高真空环境,兼具真空退火炉功能。

    3、主要用途:可制备用于光电子、半导体、石墨烯、微波器件等高纯薄膜。

     

    二、技术参数

    型号
    CVD100
    真空腔室结构
    高纯石英管
    真空腔室尺寸
    Φ100×L1000mm
    衬底温度
    室温~1000℃,可调可控
    电源
    DC
    控制方式
    PLC控制
    占地面积
    主机L1620×W1060×H1900mm
    总功率
    ≥6KW