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    一、产品概述

    1、适用范围:适合于各单位实验室、高等院校实验室、教学等的项目科研、产品中试之用。

    2、产品优点及特点:必威体育中文采用热丝化学气相沉积技术,已应用于国内多家用热丝法生产金刚石的生产线上。该必威体育中文已生产出大尺寸片状多晶金刚石厚膜,并获得了非常可观的经济效益。该系列必威体育中文适合于工业化生产也非常适合于科研、教学和产品中试之用。

    3、主要用途:用于生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等。在切削刀具、钻头、丝锥等表面沉积纳米金刚石薄膜、微晶金刚石薄膜。也可制备掺硼金刚石电极、BBD电极、金刚石电极薄膜等。

     

    二、技术参数

    型号
    HF600
    真空腔室结构
    立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷
    真空腔室尺寸
    Φ600×H500mm
    基片台尺寸
    Φ200mm
    衬底温度
    600~1100℃
    电源
    DC
    控制方式
    PC+PLC+触摸屏控制
    占地面积
    主机L1620×W1060×H1900mm
    总功率
    ≥43KW